煙氣濕度儀是利用水蒸發(fā)要吸熱降溫，而蒸發(fā)的快慢(即降溫的多少)是和當時空氣的相對濕度有關這一原理制成的。其構造是用兩支溫度計，其一在球部用白紗布包好，將紗布另一端浸在水槽里，即由毛細作用使紗布經常保持潮濕，此即濕球。另一未用紗布包而露置于空氣中的溫度計，謂之干球(干球即表示氣溫的溫度)。

　　如果空氣中水蒸汽量沒飽和，濕球的表面便不斷地蒸發(fā)水汽，并吸取汽化熱，因此濕球所表示的溫度都比干球所示要低?？諝庠礁稍?即濕度越低)，蒸發(fā)越快，不斷地吸取汽化熱，使?jié)袂蛩镜臏囟冉档?，而與干球間的差增大。相反，當空氣中的水蒸汽量呈飽和狀態(tài)時，水便不再蒸發(fā)，也不吸取汽化熱，濕球和干球所示的溫度，即會相等。

　　基于阻容法開發(fā)的煙氣濕度儀是目前CEMS濕度測量中應該為廣泛、成熟的技術，其測量原理是依據(jù)煙氣排氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數(shù)關系，直接測量煙氣排氣中含有的水分量。該方法具有測量靈敏，方法簡單，對其他氣體無交叉干擾的優(yōu)點。阻容法測量煙氣濕度具有廣闊的發(fā)展前景。但其在高溫、強腐蝕性煙氣測量中需要注重對測量探頭的保護。此外，煙氣濕度隨煙氣溫度變化而發(fā)生變化，采用溫度補償還可減少水分測量的誤差，進一步測量的精度。